V浸润式光刻机搞出来了,而EUV光刻机虽然更难,但是并不意味着搞不了!”
“要有信心!”
这个时候,王道林也是笑道:“徐董你说的对,这方面我还是着相了!”
“说到这个追赶的问题,因为我们在光源领域的基础比较差,目前实验室里能够实现的光源功率还不太够,达不到ASML的水平,我们一方面是持续提高光源功率,而另外一方面也是通过采用其他一些技术来降低光源功率在反射过程里的损耗,使得比较低功率的光源系统也能够满足生产需求!”
“这个过程里,我们的工程师也获得了不小的技术进展,我们尝试了使用双反射镜来聚焦,汇集光源,这比ASML采用的六面反射镜要更加简洁,并降低了光源的损耗,这不仅仅意味着可以大幅度降低对光源系统功率的依赖,同样也能够大幅度节省能耗,进一步降低芯片制造成本。”
“这是一非常有前景的技术突破,我们目前正在对双面反射镜技术进行深入研发!”
徐申学听罢笑道:“就是要这样,这才是我们搞技术研发所需要的态度,不要钻牛角尖,也不要强行硬抄,并不是别人这么做,我们就一定要原封不动的跟着做。”
“要能够跳出来看待问题,找到问题,然后解决问题!”
徐申学整体对海湾科技这边的技术推动进度还是比较满意的,虽然EUV光刻机搞起来有些麻烦,但是他们已经在DUV浸润式光刻机领域里证明了自己的实力。
安抚了一番海湾科技的管理层和核心技术人员,徐申学返回家中。
这刚回到家中,已经会走路的儿子徐文柏就摇摇晃晃的迈动小短腿跑上来,嘴里还喊着爸爸,抱抱……
<
本章未完,请点击下一页继续阅读! 第6页 / 共17页