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“好了,开始吧!”
所有的设备组装完成,接下来就是调试阶段。
“稳定光速在13.5nm波长,将掩膜版图案与晶圆位置对准误差控制在±1.5nm以内,保持移动速度达1m/s,同时定位精度仍需保持0.5nm...”
胡立国和冯爱民一边仔细地观察着设备的运行情况,一边大声地喊出调试的要求和参数。
其他工程师们则根据他们的指令,紧张而有序地进行着调整。
“这个不行!”
“再调整一下。”
“好!”
“可以把振幅调下一些。”
“对,就是这样!”
唐振华在旁边一边看着,一边根据测试的结果提出相对应的建议。
“成功了!”
“啪啪啪!”
时间匆匆,经过一周的调试,桔子科技响起一阵热烈的掌声!
华夏第一台光刻机成功研发出来,并且测试成功!
“老师,各位教授,同学,各位辛苦了!”
光刻机的成功研发,极大地提升了桔子科技的实力和竞争力,意味着以后公司能够研发和生产更
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