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从合资到建设到设备采购再到现在,合肥的这个arf光刻胶验证平台的启用可谓光速,很多步骤都是在同步进行的,而最核心的光刻机甚至是除euv之外最先进的nxt:2000i。
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邓运兴现在就负责这个合资厂,之前从冰芯这边得知消息,听到2000i要入场只觉心中很懵,虽然“只是”duv,但asml还没正式推向市场,这怎么就搞来了……
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等到真正见到这台机器,他才知道了更多的原委,这是从中芯那边匀过来的。
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邓运兴至此才知道江湖上的那句话不是虚言。
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中芯冰芯,同气连枝!
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虽说这样的机器在中芯那边也很宝贵,但还是没捂热就给掏出来了,由此可见两家的关系之密切。
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只要方总发话,谁也不能撼动两家同气连枝的关系,中芯也不行!
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除了asml的机器,新阳合肥厂还有采购尼康的nsr系列光刻机,也极其先进,但和前者相比就不以为奇了。
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核心设备华丽,涂胶显影、烘烤、清洗、环境控制等设备和系统也全都是最先进的。
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据邓运兴所知,这就是国内独一份。
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他清晰的感受到方总和冰芯的殷殷期盼,但是……
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当面对方总的询问,邓运兴还是只能遗憾的保持谨慎。
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“我们不好设立一个时间,只能说尽力而为,方总,arf光刻胶对材料纯净度、稳定性、分辨率的要求极高,我们都得一点点尝试。”
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“日本那边即便得益于长期的投入和产业基础,有时候做一做客户验证都需要数年时间。”
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