们的先进,放在这里真可惜了。”梁孟淞的语气归于平静,“给你打电话就是想告诉你,我们用saqp四重曝光技术确实存在困难,其中最难以解决的地方是小线宽下怎么保持低电阻和高迁移率,引入co材料进行互联碰见了不少问题。”
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方卓有点奇怪地问道:“最难以解决的不是dtco技术对全局晶体管密度的提升吗?通过应用sdg,减少传统的dummy gate的使用,增加单位面积下能容纳的晶体管。”
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梁孟淞在电话里沉默一会,淡淡地说道:“方总,你不要鹦鹉学舌,要不,你来这边主持研发吧。”
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方卓有些讪讪:“你说,你说。”
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“就是……”梁孟淞这样说了两个字忽然卡住,片刻后无奈地说道,“就是有许多问题,但我有信心,预计到年底可以尝试流片,最快的量产是明年一季度。”
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方卓这次保持了简洁:“好。”
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梁孟淞等了几秒,没等来更多的夸奖。
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他整理思绪,继续说着这通电话想谈的第二个重要事情:“10nm工艺还有开发空间,简单说,可以通过放宽尺寸来提高性能,在finfet晶体管部分增加额外的gate pitch选择,降低阻抗,增加漏极,提升通道迁移率,也就是继续打造亚代工艺技术,这会是我们一个不错的选择。”
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方卓简洁到底:“我相信你。”
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“你理解什么意思吗?”梁孟淞不确信的询问。
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“相当于在这一代10nm工艺下打造下一代10nm,提升性能,逼近7nm,对不对?”方卓猜测道。
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梁孟淞夸赞道:“方总,你不只是能鹦鹉学舌。”
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方卓感到荣幸。
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