重塑千禧年代 第1474节

庆良，与他们紧紧握手之后亲自送他们出门，等到回到办公室，看到邱总正在大口大口的喝茶。

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“可用，够用。”方卓重新落座，双手掩面，声音从指缝里钻出来，“可用，够用，嘿！”

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“对易科是够用了，对冰芯还需要很大的优化。”邱慈云用椅背撑住身体，笑道，“但现在是够了，是吧？”

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方卓往椅子上一靠，双手用力的在脸上搓动，全身的力气仿佛只够两个字的回答：“够了。”

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这是水到渠成的水，迎刃而解的刃！

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只要能有产能，还有什么不够的！

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办公室里的四个人忽然都不出声，凌晨的寂静就蔓延了进来。

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许久之后，方卓撑起来身子，说道：“16nm的光刻胶能解决，10nm的就能一以贯之了？”

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“不错。”邱慈云确认了这一点，“我们是用多重曝光技术，这可以在一定程度上避免大幅调整光刻胶的配方来适应更小的工艺节点。”

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旁边的阎宗瑞补充道：“光刻胶在10nm还是需要进行一些工作的，因为需要承受额外的曝光和蚀刻，所以要求更高的耐受性和稳定性，而且，为了适应多重曝光更复杂的流程，还需要光刻胶更高的曝光剂量窗口和显影条件，用以保证重复性和良率。”

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光刻胶不单单是化学配方的问题，还需要对像底层抗反射涂层、顶层涂层等配套材料进行优化，以及对工艺进行全面的优化。

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他知道梁博士在中芯那边做10nm的研发，一旦那边制程突破，接下来就会面临与冰芯这次类似的问题，届时在光刻胶方面还需要更复杂的调整，因为两边的工艺流程还不同。

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但是，这些问题虽然难，相较于光刻胶短缺所导致的停产，又是两码事了。

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