第100节

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单说那个?光刻机双工作台的核心技术，11年获得国家02专项立项至今，思念过去了?还没出结果?。

技术攻破首要是?资金，没有?资金学人开什么?公司？做什么?技术开发？

凭那么?点天真热血的冲动想法?而忽略了?脚下不?牢靠的基石，太蠢了?。

郑河如是?冷漠傲慢的想着，打发走计海，将消息简单汇报给陈天鹤。

陈天鹤正从私人专机上下来，落到美国的土地上。

“陈惊璆的事以后不?用跟我说。”陈天鹤冷漠的说。

他抬头观看?这座灯火通明的城市——

加利福尼亚州圣迭戈市，高通总部。

陈天鹤此行?的目的。

***

光源系统是?光刻机制造的核心，是?晶圆光刻工程的起始步，与光刻工程后续每一步息息相?关。

光源系统主要三?大单元是?光的产生、收集和均一化，初代?光刻机的光源系统还包括光的纯化，但第四代?、第五代?的激光器产生的光源已经达到要求，只需要让光均匀化就行?。

光是?雕刻的工具，由激光器产生，涉及三?项技术指标即光刻分辨率、套刻精度和产能。

光刻分辨率有?一道计算公式，照公式调整影响因?数从而提高光刻分辨率，这方面难度不?大，但是?受掩膜设计、抗蚀剂工艺等牵制，必须同时?达到最佳化才能实现理想的光刻分辨率。

套刻精度与光刻分辨率相?关，直接受其影响。

至于产能，则与光源系统的稳定相?关。

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