第103节

递至光刻系统，经光刻系统一系列步骤曝光晶片。

euv光源系统现?实工作，激光发射击中锡液滴这一过程是每秒五万次，而在仿真建模中，为方便观察，数据比例修改后变成?肉眼可观测。

仿真建模观测一小时后，放大雕刻后的晶片，宛如一个个充满未来?感的城市。

杜颂吞咽口水，紧张问：“怎么样？”

雷客屏住呼吸：“仿真实验结果和当?初预料结果一致，如无意外?，方案可行。”

身后传来?一阵激动的欢呼声，不过很快压下来?，众人纷纷看向没开口的盛明安，他才是实验室的主?心骨，他点头了?才算实验成?功！

但不可避免的，他们此?刻的心脏仿佛被吊到嗓子眼，紧张得几乎不能呼吸。

无他，因为眼前的仿真建模是他们耗费三年、将近四年的成?果！

无数日?夜的数据优化?、改进，从光源系统到光刻系统，从激光器到复杂的双工作台，从反射镜到晶圆等部件材料，海量的数据和磅礴的公式计算，一千多个日?夜的心血全数系在这一刻！

盛明安盯着右手边的光屏，那是光源优化?仿真实验结果，结果表明优化?后的光源图形和收敛曲线与预料一致，说明——

“方案可行。”

第66章

星晓[13]

红头文件。

方案可行意味着?他们研发高阶光刻机的方向是对的！

不?仅仅是解决了复杂的光源系统,更意味着?他们可以组装出?完整的高阶光刻机系统，包括仿真建模里?，模拟出?来的双工作台、反射镜等?数据都可以应用！

但现?在?不?是高兴的时候,仿真建模只是高阶光刻机制

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