刻机看似落后了,但其实依旧是顶级工业设备,很贵的……
海湾科技的新式duv干式光刻机,hduv-250e型号光刻机,售价每台在两千万美元左右,这种光刻机性能其实都不错,都可以用来生产五十五纳米工艺的芯片,而且生产效率高,性能稳定,维护简单,只不过五十五纳米工艺市场整体已经比较小了,所以出货量不大只有十来台。
辅助光刻机里,krf光刻机是最受半导体厂商欢迎的,价格便宜,性能也够用……不过krf光刻机就算便宜,但是也要七八百万美元一套。
而上述这些前道光刻机,只是整个晶圆厂所需要的诸多设备的其中一个类型而已。
然后还有后道光刻机,蚀刻机,例子注入机等……这些半导体关键设备的价格也是动不动就几千万美元的!
其中几百万的设备,那都算是便宜货了!
上述诸多昂贵的设备,再加上高级别的工厂建设费用等等加起来,就导致了先进半导体工厂的投资成本极为夸张。
智云微电子投资一座月产能五万片的五纳米工艺晶圆厂,其投资规模能够达到两百亿美元以上!
豪横如智云集团,也不可能说费了两百亿美元建设一家采用heuv-300c光刻机为核心设备的先进晶圆厂,只让它制造七纳米或五纳米工艺的芯片啊……总得想办法让它制造未来的三纳米工艺的芯片,争取提升工厂的高利润寿命期啊。
海湾科技的王道林继续报告道:“今年我们的两种euv光刻机预计年出货量三十台,等到明年的时候,我们会加大产能,以期出货量能够达到四十台,其中的heuv-300c光刻机成为出货主力,以满足智云微电子对先进euv光刻机的庞大需求。”
徐申学翻看了智云微电子的扩充产能计划,微微点头,一年四十台的euv光刻机出货量,也算是够用了,能够在满足先进工艺的逻辑芯片生产需求的同时,也能够供给部分euv光刻机
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