0.1°C以内,洁净度需达到10级洁净标准,地面振动需控制在5μm以下,才能避免热膨胀导致的尺寸偏差,防止灰尘污染和震动影响精度。
加工完之后还要用超精度测量仪器,比如测量精度<1μm,支持高速扫描和复杂曲面分析的三坐标测量机;定位误差<±0.5μm/全行程,重复定位精度<±0.25μm的激光干涉仪。
这些超精密五轴机床,离子束抛光设备,中国暂时都生产不了。