第1405章 中芯

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32纳米制程研发资金需求占大头。”

比起12英寸，16英寸的晶圆明显能切割出更多的芯片。

但这个技术突破非常难。

“再次，原本计划中的，明年开建的庐州，12英寸，45纳米，月10万/片晶圆厂，得益于经济危机带来的冲击。

建造成本比同期下降了20~30%。”

土地、机器成本等。

“所以总投入预算为32亿美元~36亿美元左右。”

一家大型芯片厂投入是多方面的。

第一，厂房建设（含洁净室）。

12英寸厂，需要超高标准无尘车间，即ss

100（每立方英尺微粒≤100颗）。

建造成本约1万~1.5万美元/平方米。

12英寸厂需5万~7万平方米。

也就是5~7亿美元。

紧随其后的就是光刻机及关键设备。

as光刻机：每台约3000万~4000万美元，45n10~15台，也就是3~6亿美元。

光刻机虽然名气最大，但晶圆厂的生产线上却不是只有光刻机。

蚀刻/沉积/检测设备：应用材料（at）nbsp;research等厂商设备。

单台价格500万~2000万美元；

总成本12~18亿美元。

其他辅助设备：晶圆清洗、c（

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