然地转向了光刻机项目当前的困境。
当关容皱着眉谈到核心部件,尤其是高精度工件台采购受阻、价格高昂而且渠道被严格卡死这些问题时,张廷直接放下筷子,表情变得严肃起来。
“工件台,指的是ASML旗下的Cymer光源配套的那种高精度磁悬浮双工件台吗?”