第119节

根据数据计算显示，可以在?原样机的基础上将效率提高至少?18%，套刻误差提高到2n下。”

“一片晶圆可得芯片数量等于晶圆面积/芯片面积晶圆直径/芯片对角线长，照该公式计算我们目前使?用的12英寸晶圆一片可得到的芯片数量，不过最后?可用的芯片数目得等到封测完毕才能知道最终的晶圆良率。”

经过光刻机曝光后?的一大块晶圆还?需要封装成一个完整的颗粒，再进行切割，最后?测试。通过测试选出性能稳定、完好、容量足的芯片，剩下不合格的部分?就会被当成废品处理。

稳定的芯片和不合格的芯片对比得出的数据称为晶圆良率，总良率超过90%才算可盈利的商品。

而晶圆制作过程历经三百多?个步骤，其中随便哪个步骤出现差错就能导致整片晶圆损毁或拉低良率。

一粒肉眼看?不见的灰尘掉进正在?制作中的晶圆，它就会立即报废，所以光刻过程必须保证在?恒温、无尘车间内工作。

“其余数据稳定！稳定！稳定！”

“13.5nuv样机，实验验收完毕！”

“验收通过！”

……

一片无声沉默中，盛明安率先?开口：“可以向上报告，准备新机研制和新项目研发?。”

下一刻，实验室内猛然爆发?欢呼，还?有人喜极而泣，他们埋头苦干了四五年！

有人在?这行甚至干了十年以上，还?以为有生之年都不能看?到国产euv的诞生，怎么能想得到不仅看?到了、还?是自己参与的项目！

所以怎么能不喜极而泣？怎能不相拥欢呼？

林成建眼睛有点?湿了，他忽然很想钻回自己的小房间，拿出妻子

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