第460章 一个C++而已

他简单地讲了讲正在进行的实验。

化学放大光刻胶，利用光酸生成剂在曝光或产生算，通过后烘过程催化光刻胶的化学反应实现化学放大效应。

在改进的方向上。

李暮提出了6个方向。

其中最简单的，就是树脂体系的优化。

开发具有更高玻璃化转变温度的树脂，只是第一步。

接下里还要通过精确控制树脂的分子量分布，减少显影过程中的不均匀性。

以及使用低分子量树脂提高分辨率。

“不过在使用低分子量树脂的时候，平衡机械强度和抗刻蚀性上，我们遇到了一点小麻烦。”黄新华最后道。

在优化的过程当中，他们发现。

低分子量树脂的分子链较短，会导致材料的机械程度下降，更容易断裂或变形。

还有树脂结构上。

因为致密度不够，抗刻蚀性也会下降。

李暮沉吟片刻，道：

“那就通过化学交联，在低分子量树脂中形成三维网格结构，增强材料的机械强度和抗刻蚀性。”

“也可以采用复合树脂体系，将低分子量树脂和高分子量树脂混合起来。”

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