哪怕是有所谓的‘自主专利’,海湾科技也不会到处叫嚷……技术人员多少还是有些自尊心的。
哪怕再怎么遮掩,糊弄外人,但是自己心里都知道,这东西就是对着ASML的光刻机抄的。
此时王道林道:“不过我们这边也在持续进行技术研发,争取早日绕过这些专利限制,让我们的光刻机可以光明正大的出现在大众视野里,到时候,我们就推动我们的DUV浸润式光刻机走向海外,出口创汇去!”
徐申学笑呵呵道:“有这个信心很好。”
王道林一边和徐申学说着话的时候,前头的无尘车间里的第一台国产DUV浸润式光刻机也正在进行着试生产。
边上的丁成军也在说着这一次的试产规划:“目前我们正在试产的芯片,是集团里一种采用四十纳米工艺的逻辑芯片,这一次试产的目的主要还是看良率,效率这些性能指标,至于光刻精度的话,之前我们已经进行了大量的测试,是完全能够满足我们的四十纳米工艺的光刻机精度的!”
“并且我们的光刻机也具备了二十八纳米工艺所需要的套刻精度,不过在一些技术指标上还有所欠缺,现阶段采用二十八纳米工艺的话,会导致生产成本的比较大幅度的上涨。”
“甚至理论上,我们这台光刻机,也能勉强用于十八纳米甚至十四纳米工艺的生产,只是成本就太高了,不具备实际商业价值!”
“目前我们微电子这边的规划是,前期采购的这款HDUV-400型号,主要还是用于四十五、四十纳米乃至二十八纳米工艺的逻辑芯片,或者是部分四十纳米、三十纳米、二十五纳米工艺的储存芯片的生产!”
“这几个工艺节点上我们的订单也非常多,产能需求量大,足以给我们的400型光刻机起步订单了!”
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