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“但前提是能够满足性能需求,不是勉强能用,而是要能大规模成熟使用,并成本可控,具备商业价值!”
此时王道林道:“精度问题以及成本控制问题,我们正在积极进行技术研发,以解决部分技术问题,这也是需要把设备拉到你们微电子这边来的原因,我们需要晶圆厂方面的大量测试和配合,然后才能够解决问题,提升良率,进行成本控制!”
丁成军道:“配合问题伱们这边不用担心,我们会积极进行各种技术配合的。”
王道林道:“给我们三个月时间,我们就能够解决这些问题,绝对是能够满足二十八纳米生产线的,丁总啊,来多几套订单啊!”
丁成军则是道:“只要你们能够解决问题,订单有的是,你们不用担心。”
王道林:“那说好了啊,这一批你保底得给我来个四十台的订单啊,不然我这边压力太大了,这光刻机研发每时每刻都在烧钱啊,没订单真顶不住!”
丁成军瞄了他一眼:“你真敢开口,一台DUV浸润式光刻机几千万美金,你一张口就要四十台订单!”
说罢,丁成军却是又道:“不过,只要你能够把技术问题解决了,我还是那句话,订单有的是,四十台也不是问题!”
“这市场足够大,容得下你们四十台的订单!”
“不过,你们这个400型号还是差了些,套刻精度不太行,只有五点五纳米,用来搞二十八纳米工艺节点还可以,但是用来搞我们的十八纳米工艺乃至十四八米工艺,就差了些了!”
“你们把套刻精度提升上来,再把双重曝光做好了,能够做十八纳米乃至十四纳米,甚至七纳米的时候,你还怕
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