第551章 新光刻机测试

那条生产线，也是乔瑞达赠送给学校的，设备方案都差不多，产能稍稍高一些。满足我们学校师生的流片需求足够了，偶尔还能对外承接一些石墨烯芯片流片测试业务，贴补一下实验费用。”说到自家学校的石墨烯芯片生产线，王院士那是相当自豪，要知道，目前全世界就两个地方能够生产成熟的石墨烯芯片，其中一个自然是瑞芯晶圆厂，而另一个地方，就是他带领的北大芯片实验室。

“别人是学生沾导师的光，蹭设备，蹭经费，到了你这里，完全反了过来，换成学生给导师提供设备，提供技术。你就得意吧，收了乔瑞达当弟子，那还真是应有尽有。”

“呵呵，我说老姚，你这话怎么那么酸。乔瑞达能来我们北大读书，能够成为我的研究生，那都是我们争取来的。像是乔瑞达这样妖孽的学生，几十年也就诞生了这一个，你就是羡慕也羡慕不来。”

对于石墨烯芯片的生产过程，那几位院士和研究员从未见过，看的自然是津津有味。但是差不多的场景，乔瑞达不知看过几十几百遍，丝毫提不起半点兴趣。无聊的度过了两个小时，二十片测试用的石墨烯晶圆，经过几十道工序的加工，终于轮到了光刻工序。

乔瑞达强打起精神，跟随几位院士，来到了那台橙色涂装的光刻机面前。一位瑞芯晶圆厂的研究员，将一个装满石墨烯晶圆的容器，递给王院士，说道：“姚院士，测试用的石墨烯晶圆都在这里了，一共二十片，一片也不少。前面的所有工序都已经完成，现在就看这台光刻机的表现了。”

姚院士接过石墨烯晶圆，迟疑了一下，继而对着王院士说道：“老王，你平常使用光刻机最多，经验最丰富，要不咱们这台光刻机，还是由你来操作吧！”

“好吧，那就让我来，有我出手，一定马到成功！”

王院士接过石墨烯晶圆盒子，颇为自信的走上操作位。他打开盒子，使用特制夹具，将盒子里的石墨烯晶圆依次取出，放在光刻机的来料托盘上。然后安装好林孟松提供的石墨烯内存芯片掩膜板，深吸一口气，按下开机按钮。随着一阵滴滴轻响，指示灯闪烁，设备开始自检，检查各个零部件是否安装到位，检查光刻生产中使用到的各种物料是否齐备，同时对光源部门，进行预热。

光刻机类型不同，使用的光源也大相径庭，例如duv光刻机使用的光源是193n深紫外光源。euv光刻机，使用的光源是波长13.5n极紫外光源。而石墨烯光刻机更进一步，使用的是波长6.6nel光源，理论上来说，它的极限加工精度，要比euv光刻机小很多。当然，目前瑞达科技公司推

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