第551章 新光刻机测试

出的石墨烯手机芯片和石墨烯笔记本处理器，远远没有达到光刻机的极限加工精度。一个是现有设备不成熟，还达不到理论极限加工精度，在一个是完全没必要追求那么极限。相比传统硅基芯片，石墨烯芯片的性能实在太过厉害，发热也非常低，即使使用十n上的加工工艺，做出来的手机芯片，也甩开硅基手机芯片几条街。在竞争对手掌握石墨烯芯片生产技术之前，根本不用拿出过于先进的产品。

几分钟后，“嘀——”一声长鸣，光刻机自检结束，智能控制程序启动，两片石墨烯晶圆先后被光刻机“吞”了进去，在精密机械臂的夹持下，精准的放置于双工件台上。而后专用扣具锁紧晶圆，设备内光华不断闪烁，光刻流程正式开启。

这次加工的石墨烯内存芯片，制程工艺比较低，结构比较简单，光刻过程几乎都是一遍过，不需要进行套刻、3d累积之类的复杂操作，所以加工起来速度个外的快，一片石墨烯晶圆的完整光刻流程，也不过是几个眨眼的时间。所以这20片测试石墨烯晶圆，相当不顶用，仅仅开机工作了几分钟，就全部光刻完成。

林孟松再次走上前，将光刻完成的石墨烯晶圆收起来，放入专用盒子，而后带着盒子，来到下一道工序设备面前，进行后面的显影、硬烘、刻蚀、检测等工序。全部流程走下来，已经是一个小时之后的事情了。进入生产线的时候，是二十片晶莹剔透的石墨烯晶圆，出来的却是一小堆黑不溜丢的芯片，摆在众人面前，只看卖相，确实有些对不起观众。

“这些内存芯片的数量是不是太少了一些，20片晶圆至少可以加工出几百枚石墨烯内存芯片吧，这里怎么才这么一点？”看到成品只有这么一小堆，姚院士提出了他的疑惑。

“在晶圆切割成为晶片之后，使用光学设备，进行了一次初步筛选，将那些存在明显缺陷的，全部筛了出去。也就是说，能够走到最后，加工成芯片的，只有面前这些了。”林孟松指着面前这一小堆芯片，说道。

“这么说，这些芯片都是合格产品了？”

林孟松摇了摇头，说道：“我刚刚不是说了，前面的筛选工序，只是初筛。现在这些芯片，还要送到隔壁实验室，进行详细的测试，才能确定芯片的好坏。”

说罢，林孟松将这堆内存芯片，装进一个防静电袋子，拿着送去了隔壁的芯片测试实验室。接下来又是漫长的等待，直到半个小时后，检测完成，林孟松拿着一份检测报告，走进休息室。

“芯片检测完成了，这是检测报告，消息有好有坏，你们先听哪一个？”

“当然是先听好消息，刚刚经历了

本章未完，请点击下一页继续阅读！ 第3页 / 共5页