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掩模涂层与光刻机涂层直接接触,再打光照射,完成曝光。
但是这种光照方式的失败率和成本都很高。
因为胶体本身及其粘附的浮尘颗粒,不仅影响效果,还会对光掩模造成损伤。
10张晶片才能用有一张能用,还会加速光掩模的使用寿命。
成本是相当的高。
后来按照他给的资料,又在接触式光刻机的基础上,加了一个水平和垂直方向上可移动的平台。
以及一个测量光掩模和晶片之间的显微镜。
让两者在刻录的时候,靠近又不接近,解决了之前的问题。
也就是接近式的光刻机。
但是这种光刻机解决了之前的问题,但是精度下降。
所以这两款产品出来以后,他直接就放弃了。
直接用上了1974年才出来的投影技术。
这玩意成本还挺高的,需要不少的光学器件,都需要从日本进口。
当然了,这个成本高也是相对的。
此时王青松在那里琢磨着,如果能把电脑和EDA软件拿出来。
那光刻成本就会下降非常的多。
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