第568章 故障排除靠重启（5400）

随意触碰，但刚张开嘴，才想到这特么是老板。

东西都是人家买的，想摸就摸吧。

好在方豫没摸多久，就松开了手。

“我觉着这东西不是坏的啊，看起来挺正常的，再检测试试。”

就算张博士穿着无尘服，透过面罩都能看到脑门上青筋直冒。

你觉着？

这玩意儿坏了就是坏了，没坏就是没坏，你觉着有个屁用？

我还觉着柳菲菲应该对我一往情深呢，我觉着有用吗？

看不到故障灯在那亮着吗？

要不是看在你救了我的份上，我、我特么跳起来打你膝盖！

“方总，duv重启一次，至少要十几个小时，费几十万的费用，我们可以确信……”

张博士绞尽脑汁干巴巴的劝说道。

张博士说的也不完全是托词，阿斯麦的duv每次冷启动都要完全置换气体，含有氖、氩、氟的准分子激光光源气体混合物很贵，至少要大几千迈元。

而且，duv的激光腔寿命以脉冲数计数，每开关机一次，都会造成寿命的降低。

最重要的是，光刻机这东西也有点玄学，有可能关机前只是双工件台和光源系统有问题，重新开机后，不知道哪里又会蹦出新的问题。

“无非就是一点稀有气体的损失，问题不大。而且不需要冷启动，只需要在

h做模块复位，跑受影响子系统的qualification，二三十分钟就能结束，不会有什么大损失。”

方豫伸手敲了敲面前这台duv的黄色外壳。

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