第568章 故障排除靠重启（5400）

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听了方豫的话，张博士不由得目瞪口呆。

你懂光刻机？

既然懂，怎么还说什么“我觉得”？

“这……这……可是……”

张博士一脑子浆糊，吭哧半天，也不知道该说什么好。

“重新自检，看看故障能不能排除，不能排除，我们再想办法。”方豫抱着双臂，语气轻松，却充满着不可置疑的味道。

“……那好吧。”张博士被迫妥协，叫来两个技术员打下手。

三人先在h终端上登录工程师权限，屏幕上弹出一连串灰底白字的系统菜单。

张博士伸手点进维护界面的子系统控制组群，找到了亮着红灯的工件台控制与光源模块。

“先做工件台自检吧。”

一通操作后，张博士点了一下对话框中的确认键，紧接着，就听到设备内部传来“咔、咔”几声电磁锁切换的清脆声响。

双工件台下方的真空泵开始抽气，伴随着低沉的气流声，整个平台缓缓降到维护位置。

宁雨震撼的看着这台大型设备的动作，充满了顶级机械工程的美感，感觉跟变形金刚似的。

几秒后，工件台的干涉仪和温控系统开始依次重新初始化，h上的进度条缓缓前进。

高精度激光干涉仪的红点在台面上来回扫描，反馈曲线在屏幕右侧实时抖动着趋于平稳。

整个过程也就持续了三四分钟，屏幕一闪，原本显示故障的位置瞬间变成了“stage

ok”的字样，警告状态瞬间消失。

消失了？

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