369-370章：上面的行动！（4000字）

说到此处，张领导说话之间有些犹豫。

对于光刻机的进度，他比任何人都清楚。

在原来的05专项计划之中。

项目的目标，是利用世界上各种零部件，组装出一台实用的DUV湿式光刻机出来！

不过，因为高怀钧希望有B方案，并且提供额外的研发资金，希望能够有自主可控的零部件配置。

所以05专项计划，不出意外地时间拖延了。

高怀钧无奈，但也没法。

因为光刻机这玩意儿，最大的难点是三个。

一个是光源。

要产生

13.5纳米波长的极深紫外光，目前的做法是用高功率的激光轰击一个直径只有三千万分之一米的小锡球（就是金属锡的锡）。

这种激光器全世界只有一家德意志国公司能生产，这家叫通快的德意志国公司用了十年时间才研发成功，单单是这台激光器就有

45700多个零件。

但没想到的是，通快公司的这台激光器又依赖于一家立陶宛的公司提供关键设备，没有这家立陶宛公司制造的光源设备，通快公司也不行。

下一个难关是如何把这种极深紫外光收集起来，形成一束极深紫外光的激光。

光学系统。

为

EUV研制的这套光学系统全世界也只有一家德意志国公司能制造，它就是

本章未完，请点击下一页继续阅读！ 第6页 / 共10页