大名鼎鼎的蔡司公司。
蔡司生产的相机镜头是世界上最好的镜头之一,可是相机镜头与
EUV光学系统用的镜头比起来,那就好像是螺旋桨撒农药的飞机和喷气式战斗机的差别了。
这套光学系统至少涉及以下这些技术挑战:高精度非球面加工,多层膜反射镜,高质量熔炼,离子束抛光技术,极限精度磨制。
最终的目标是要制作出一片绝对光滑平整的镜片,要光滑到什么程度呢?
就是三体中水滴的那种光滑程度,镜片的起伏就是大约一个原子的误差,接近理论上的物理极限。
如果用蔡司自己的宣传比喻,就是把这片镜片放大到整个德意志国那么大,起伏也没超过
0.1毫米。
如果一个病毒落在这片镜子上,那就好像拔地而起一座百米小山。
最后一个是控制台。
这就是精密仪器工作台。
为了把几百亿个晶体管刻成,需要一个精度极高极高的控制台,这个控制台由
55000个高精度的零件构成,而这些零件又至少依赖于岛国,寒国,呆弯,美丽国,德意志以及贺兰等国家提供的专利技术,少了任何一个都不行。
现在这台光刻机需要做到自主可控,就不是以1敌1,而是以一敌众了!
以前工信部对于这台05专项的光刻机也不是很上心。
因为光刻机的市场规模就是那么一点点大,但ASML一家公司已经依仗自己的技术能力,占据了光刻机市场90%以上市场份额。
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